第225章 组装

日历无声翻过近七百个日夜。-n^i?a′o^s/h^u_w/.¢c_o/m¢窗外的梧桐树冠己亭亭如盖,见证了华科院深处那个被重重守护的实验室里,无数个灯火通明、与数据图纸鏖战的夜晚。

光刻机项目,这台承载着国家意志与科技巅峰梦想的庞然大物,终于走到了最后也是最关键的门槛前。

所有精密如艺术品的核心部件、数以十万计的高精度零件,历经千锤百炼的测试与优化,都己齐备,闪烁着冷冽而完美的光泽,静候着最终的归宿。

然而,终点在望,并不意味着坦途。

最后一步组装其复杂程度与耗时之长,甚至超过了某些核心部件的研发本身。

这绝非简单的拼积木,而是将人类在精密制造、材料科学、控制理论、光学工程等数十个尖端领域所能达到的极限,在原子尺度的精度要求下,进行一场史无前例的、不容丝毫差错的“交响乐”编排。

超乎想象的复杂性,组装流程被分解成数万个操作步骤。

从重达数吨的真空腔体基座的吊装定位,到仅有头发丝万分之一的镜面间距的微调。

从数公里长的超洁净线缆的布设与连接,到对温度、湿度、振动、电磁场、静电等上百个环境参数的实时监控与动态补偿。!幻*想′姬, ?追!最.新¨章\节¨

每一步都环环相扣,牵一发而动全身。一个微米级的安装误差,可能在系统联动后被放大成纳米级的性能偏差,导致整机功能失效。

核心组装区必须达到iso Class 1(每立方米空气中大于0.1微米的颗粒少于10个)甚至更高级别的洁净度。

一粒肉眼不可见的尘埃落在核心光学元件或硅片传输路径上,都可能导致灾难性的缺陷。

这意味着需要建造庞大而高效的无尘室系统,以及极其严苛的人员和物料进出净化程序。

组装完成仅仅是开始,接下来是漫长而繁琐的系统级调试、精密校准和性能验证。

光刻机是一个极其复杂的多物理场耦合系统,需要将机械运动精度、光学成像质量、激光能量稳定性、环境控制精度等所有子系统调整到完美协同的状态。